ICP-ms質譜儀是測量離子質荷比的分析方法，離子質荷比即質量-電荷比。其遵循樣品導入→離子源→分析器→檢測器的方式，將樣品導入離子源中發生電離，生成帶電荷離子，然后運用加速電場將離子束引入分析器中，再利用電場和磁場使其發生相反的速度色散，再將它們聚焦起來而得到質譜圖，從而確定其質量。而
ICP-ms質譜儀則是在這之后增加了數據處理和控制系統、并可以將有效數據上傳至云服務器，達到遠程、實時查看及數據分析的目的。
ICP-ms質譜儀主要是指分離和檢測不同同位素的儀器。即根據帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理，按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。
ICP-ms質譜儀zui重要的應用是分離同位素并測定它們的原子質量及相對豐度。測定原子質量的精度超過化學測量方法，大約2／3以上的原子的質量是用質譜方法測定的。由于質量和能量的當量關系，由此可得到有關核結構與核結合能的知識。對于可通過礦石中提取的放射性衰變產物元素的分析測量，可確定礦石的地質年代。ICP-ms質譜儀還可用于有機化學分析，特別是微量雜質分析，測量分子的分子量，為確定化合物的分子式和分子結構提供可靠的依據。由于化合物有著像指紋一樣的*質譜，質譜儀在工業生產中也得到廣泛應用。
